Обладнання

Обладнання придбане в рамках проекту

Лазерні гравери для виконання завдань з малороздільної (десятки мкм) безмаскової літографії

Технічні характеристики:

Модель продукту ATOMSTACK M4

Розмір гравіювання 70*70 мм

Пікова оптична потужність в імпульсі 20 кВт

Довжина хвилі лазера 1064 нм

Точність повторення маркування ≤0,01 мм

Швидкість маркування 12 м/с

Витяжні шафи та центрифуги (спінери) для нанесення тонких шарів фоторезисту в умовах чистої кімнати.

POLOS ® PM-100 (планується придбання в 2025 р)

Оптимальний варіант виготовлення елементів мікроелектроніки на етапі дослідження і розробки новітніх матеріалів та приладових архітектур

Посилання на виробника:

https://www.sps-polos.com/product/polos-pm-100/125/