Результат: методом АСМ встановлено збільшення твердості з 0,9 ГПа в аморфному одиночному шарі до 11–18 ГПа в полікристалічних товстих (~0.5 мкм) плівках, отриманих шляхом багатоетапного осадження та відпалу

Фазовий склад контролювали за допомогою раманівської спектроскопії (рис) та рентгенівської дифракції (не показано).