Порівняння прямої лазерної літографії та традиційної оптичної літографії застосовно до традиційних фоторезистів

У співпраці з Інститутом проблем реєстрації інформації (ІПРІ) НАН України (ця співпраця була налагоджена в рамках виконання організаційних завдань проекту) ми порівняли можливості звичайної маскової оптичної літографії (ліворуч) та саморобного інструменту для літографії прямого лазерного запису (праворуч), доступного в ІПРІ, та продемонстрували переваги прямої лазерної літографії/запису